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HiParc*──高能脈沖電弧
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- 發布時間:2020-06-17 11:10
詳情
電弧蒸發被廣泛用于在刀具、模具以及零部件上沉積超硬、耐磨、防侵蝕的膜層。
根據電弧蒸發源的尺寸和其他參數,通常是在恒定直流(60A-200A之間)模式下蒸發靶材,如Ti、AlTi、Cr以及其他多種材料。
傳統的電弧是被磁場約束來控制在靶材上的運動,以避免因電弧隨易移動而造成在真空室內涂層分布不均勻。
在過去兩年半多的開發過程中,PVT公司開發了HiParc* 技術(高能脈沖電弧)和PDA** - 技術(等離子擴散電弧)相結合的電弧技術。電弧通過脈沖電流以特定頻率和持續時間在極高的能量下運行。
在過去兩年半多的開發過程中,PVT公司開發了HiParc* 技術(高能脈沖電弧)和PDA** - 技術(等離子擴散電弧)相結合的電弧技術。電弧通過脈沖電流以特定頻率和持續時間在極高的能量下運行。
HiParc* 技術最重要的優勢:
- 顯著地縮短了循環時間
- 極大的提高了靶材的利用率
- 沉積的膜層更光滑
PVT公司能夠為沉積最先進的高性能涂層減少50%以上的時間,通過利用HiParc*技術可以為客戶增加85%涂層設備利用率。
同時,通過HiParc* 和 PDA**這兩種技術相結合使用,根據不同的靶材成分,靶材的利用率最高可達70%。
與此同時,PVT公司已將HiParc*技術進行了商業化,已成功地交付了幾套采用該技術的涂層設備,既有客戶用于對自己產品進行內部涂層加工,也有為他們的客戶提供涂層加工服務。
* HiParc = High Power Pulsed Arc高能脈沖電弧
** PDA = Plasma Diffused Arc等離子擴散電弧
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20微米的單層TiN
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